Работы в области вакуумной техники начались в Петроградском политехническом институте в начале 20-х годов прошлого века на физико-механическом факультете, деканом которого в то время был А.Ф. Иоффе. Группа сотрудников под руководством преподавателя М.М. Богословского занялась разработкой и изготовлением приемно-усилительных и генераторных ламп. В эту группу входил будущий академик С.А. Векшинский. Их триоды с вольфрамовым катодом, откачиваемые ртутными насосами, были признаны наиболее совершенными в России, а их производство в 1922 году было передано из Политехнического института на завод РОБТиТ, техническим директором которого был назначен М.М. Богословский, а главным инженером С.А. Векшинский.

Лаборатория высокого вакуума, которая была создана в то время, существует до сих пор на кафедре «Физическая электроника», в ней до войны было выполнено много интересных исследований (академик П.И. Лукирский, его ученики).

После войны 1941 - 1945 гг. работы в лаборатории высокого вакуума были продолжены (проф. Лепешинcкая), а в начале 50-х годов на кафедре «Автоматы и полуавтоматы» механико-машиностроительного факультета была открыта подготовка инженеров по специальности «Электровакуумные машины». Гнучевым М.В. была создана лаборатория вакуумной техники, в которой наряду с ртутными компрессионными манометрами уже использовались паромасляные насосы и трофейные механические насосы, полученные из Германии. Кафедрой за 50 лет выпущено большое количество специалистов в области электровакуумного и полупроводникового машиностроения. В вакуумной технике наиболее известны профессора Кузьмин В.В., Розанов Л.H. и Саксаганский Г.Л.

Первые научные работы кафедры ( доц. Гнучев М.В. и доц. Кукушкин А.П.) были связаны с разработкой диффузионного парамасляного насоса с быстротой откачки 5 л.с. и выпускным давлением около 1 мм рт. ст. Насос предназначался для автоматов откачки приемно-усилительных ламп (з-д «Светлана») и имел оригинальную конструкцию кольцевого эжектора. В области измерительной техники доц. Гнучевым М.В. был разработан циркуляционный манометр, позволяющий использовать термопарную лампу для измерения высокого вакуума.

В 1962 году на кафедре по приглашению М.В. Гнучева начал работать Розанов Л.Н., закончивший эту же специальность и проработавший после окончания института несколько лет на заводе «Светлана». Его научные интересы вначале были связаны с реализацией безмасляной откачки ЭВМ (Печатников М.Н.). Были разработаны адсорбционные насосы сначала с неподвижным «Афина», а затем с движущимся адсорбентом «Ванда». В 70-х годах под его руководством были разработаны и изготовлены во ВНИИТрансмаш на основе насоса «Ванда-4» стенд для вакуумных испытаний шасси Луноход (Кузиниц Л.А.), а затем вакуумная камера для имитации атмосферы Марса. В этой камере имитировался состав остаточных газов и ветер CO₂. Впоследствии им вместе с сотрудниками было выполнено ряд работ по созданию нoвых установок и элементов вакуумных систем (Сказываев В.Е., Акимов Ю.Д., Иванов А.П., Мартынов Д.А.) автоматизации проектирования вакуумных систем (Щенев В.В., Печатников Ю.М.). Работы по вакуумному напылению (Розанов С.Л.) и разработке течеискателей (Борнгардт К.Н.) уже проводились на кафедре «Информационной машиностроительной технологии». В 1980 году в издательстве «Высшая школа» вышел первый учебник для вузов по вакуумной технике, переизданный в 1990г. С 1991 г. в Политехническом институте выпускается журнал «Вакуумная техника и технология», а 1997 года проводятся ежегодные Всероссийские семинары с тем же названием.

Работы в области криовакуумной техники, проводимые на физико-механическом и механико-машиностроительном факультетах, проводились в содружестве с криогенной лабораторией, начальниками которой были Плотников С.В., Старых М.М., Ларин М.П, Гаевский В.В. Кроме обеспечения работ жидким азотом и гелия, лаборатория активно принимала участие в разработке криогенных вакуумных насосов с охлажденным жидким гелием и криосорбционных насосов с охлаждением жидким и твердым азотом (Ларин М.П.) Большой вклад в разработку адсорбционных материалов и исследование их теплофизических характеристик внес Гаевский В.В.

Сверхвысоковакуумные криогенные насосы и адсорбционные форвакуумные насосы, изготовленные в криогенной лаборатории широко использовались на кафедре физической электроники (Кораблев В.В.), на кафедре полупроводников (Салтамов У.Г.), экспериментальной физики (Мамаев Ю.А.) и в других организациях Санкт- Петербурга.

Преподавание вакуумной техники в конце XX-го века велось уже на 4-х факультетах университета: радиофизическом, механико-машиностроительном, энерго-машиностроительном и физико-металлургическом.

В новом веке развитие вакуумной техники в университете, как и во всей стране, несколько замедлилось. Но расширение областей ее применения позволяет надеяться на ее новый подъем.