ТЕПЛОВОЙ РЕЖИМ КАТОДА В ВАКУУМНОЙ ДУГЕ

В.Г.Кузнецов
Институт проблем машиноведения РАН
г. Санкт-Петербург, Россия

Баланс мощности, выделяющийся на электродах вакуумно-дуговых испарителей, имеет существенное значение, как для их конструктивного расчета, так и для реализуемых с их помощью технологических процессов.

Следует иметь в виду, что по мере работы катода вследствие эрозии материала длина его уменьшается. За счет улучшения теплоотвода снижается температура рабочей поверхности катода. Следовательно, в конце ресурса работы электрода практически вся мощность, выделяющаяся на катоде (без вычета мощности излучения), должна отводиться в систему охлаждения.

Благоприятные с точки зрения уменьшения микрокапельной фракции продуктов эрозии катода условия его работы при снижении температуры по мере уменьшения толщины могут отрицательно сказаться на свойствах покрытий. Изменение количества и размера микрокапель в слоях по мере наращивания толщины покрытия может привести к различному фазовому составу покрытия по толщине и к внутренним напряжениям, ухудшающим адгезию покрытия. Поэтому в ряде случаев целесообразно в процессе нанесения покрытий поддерживать температуру катода на заданном уровне.

Рассматриваются вопросы стабилизации температуры катода в вакуумно-дуговом разряде. Представлена модель и методика расчета температуры рабочей поверхности торца катода, эродируемого под действием катодных пятен. Стабилизация температуры катода осуществляется изменением тока дугового разряда в процессе работы испарителя в соответствии с полученной закономерностью или конструктивными решениями.

Получена зависимость тока дугового разряда I от времени t, пoзволяющую поддерживать температуру рабочей поверхности катода на заданном уровне в процессе его испарения и, следовательно, уменьшения толщины:

где I0 - начальное значение тока дуги при t = 0 и начальной толщине катода Lk0, S - площадь рабочего торца цилиндрического катода; η - коэффициент электропереноса, зависящий от материала катода;
ρ - плотность материала катода.

Если в непосредственной близости от торца катода длиной Lk и диаметром Dk, омываемого водой, сделана проточка в виде канавки диаметром D1 и шириной L1, температуру рабочей поверхности на заданном уровне по мере эрозии материала можно поддерживать за счет изменения диаметра канавки во времени в соответствии с полученным выражением:

Предыдущая.......... На главную страницу.............Следующая