Проанализирована возможность использования разработанного и изготовленного микромеханического термоэлектрического преобразователя напряжения переменного тока (AC-DC преобразователя) в качестве датчика вакуума. Получена и исследована зависимость выходного сигнала преобразователя (термоЭДС) от давления, построена математическая модель теплопереноса. На основе полученных данных и модели разработана конструкция теплового датчика вакуума с улучшенными характеристиками по сравнению с существующим AC-DC преобразователем.