МИНИАТЮРНЫЕ МАГНИТНЫЕ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЕ НАСОСЫ ПОЛУМАГНЕТРОННОГО ТИПА
Корепин Г.Ф., Котюргин Е.А., Стефаненко А.А.
ФГУП "HI111 "Исток"
141190 г. Фрязино Московской обл., ул. Вокзальная, д.2а
В настоящее время для обеспечения работоспособности ЭВП СВЧ средней и большой мощности нашли широкое применение МЭН диодного типа в составе конструкций этих приборов для контроля и поддержания требуемого уровня вакуума
Практическое применение использование таких МЭН показало, что они обладают рядом существенных недостатков:
-могут иметь длительное время запаздывания зажигания разряда, и, в ряде случаев, это время превышает время готовности самого ЭВП;
-низкую скорость откачки аргона, являющегося практически обязательной составляющей спектра остаточных газов ЭВП СВЧ;
-недостаточный запас титана в центральных областях катодов;
-появление токов утечки по изолятору при длительной работе в условиях интенсивного газовыделения в ЭВП и при повторной установке насоса.
С целью устранения этих недостатков была разработана серия миниатюрных магнитных электроразрядных насосов с разной скоростью откачки (0,5; 1,0; 2,0 л/с). Насосы представляют собой одиночную разрядную ячейку, сочетающую в себе принцип рабoты и достоинства диодного и магнетронного насосов.
Исследования показали, что оптимальной величиной индукции магнитного поля новых МЭН является его удвоенное значение относительно диодного насоса аналогичной конструкции анода. Наиболее существенные преимущества насоса показаны в таблице. Насосы полумагнетронного типа используются как в качестве технологических, так и встроенных в ЭВП. Они сохраняют свою работоспособность после воздействия ускорений до 5g, частотой от 0 до 1000 Гц.
Насосы не имеют в своем составе драгоценных металлов, могут легко присоединяться с помощью сварки по любому из двух предлагаемых патрубков - в виде тарелочки или цилиндра. В конструкции полумагнетронных насосов предусмотрена возможность управления скоростью откачки аргона.
Таблица Основные технические данные и характеристики МЭН
Виды насосов | Диодные | Полумагнетронные |
N п/п |
Параметр сравнения | N1 | N2 | N3 | N4 | N5 | N6 | N7 |
1 | Объем корпуса V(см3) | 5,97 | 14,8 | 30,9 | 95,1 | 11,67 | 23,31 | 43,07 |
2 | Скорость откачки S (л/с) | 0,1 | 0,2 | 0,5 | 2,0 | 0,4 | 1,0 | 2,0 |
3 | S/V(xl02) | 1,7 | 1,3 | 1,6 | 2,0 | 3,4 | 4,3 | 4,6 |
4 | Длина изолятора L (мм) | 9 | 9 | 19 | 9 | 18 | 18 | 18 |
5 | Эффективная длина изолятора Li (мм) | 9 | 9 | 19 | 9 | 35 | 35 | 35 |
6 | L/Li | 1 | 1 | 1 | 1 | 0,514 | 0,514 | 0,514 |
7 | Длина вывода анода L2 (мм) | 17 | 17 | 15 | 46 | 42 | 42 | 42 |
8 | L/L2 | 0,53 | 0,53 | 1,25 | 1,96 | 0,83 | 0,83 | 0,83 |
9 | Минимальное давление надежного старта (104 Па) | 1 | 1 | 1 | 1 | 0,05 | 0,05 | 0,05 |
10 | Количество типов деталей (шт.) |
20 | 22 | 19 | 20 | 16 | 16 | 16 |
11 | Возможность вариации скорости откачки инертных газов | . | . | . | . | + | + | + |
12 | Максимальное напряжение без пробоя изолятора (кВ) | 4 | 4 | 8 | 8 | 20 | 20 | 20 |
13 | Объем распыляемого титана в центре катода (мм3) | 1,8 | 1,8 | 9,8 | 17,1 | 10,6 | 39,3 | 94 |
14 | Количество разрядных ячеек (шт.) | 1 | 4 | 2 | 9 | 1 | 1 | 1 |
15 | Экранировка от напыления с катодов | . | . | . | . | + | + | + |
Предыдущая.......... На главную страницу.............Следующая