МИНИАТЮРНЫЕ МАГНИТНЫЕ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЕ НАСОСЫ ПОЛУМАГНЕТРОННОГО ТИПА

Корепин Г.Ф., Котюргин Е.А., Стефаненко А.А.
ФГУП "HI111 "Исток"
141190 г. Фрязино Московской обл., ул. Вокзальная, д.2а

В настоящее время для обеспечения работоспособности ЭВП СВЧ средней и большой мощности нашли широкое применение МЭН диодного типа в составе конструкций этих приборов для контроля и поддержания требуемого уровня вакуума

Практическое применение использование таких МЭН показало, что они обладают рядом существенных недостатков:
-могут иметь длительное время запаздывания зажигания разряда, и, в ряде случаев, это время превышает время готовности самого ЭВП;
-низкую скорость откачки аргона, являющегося практически обязательной составляющей спектра остаточных газов ЭВП СВЧ;
-недостаточный запас титана в центральных областях катодов;
-появление токов утечки по изолятору при длительной работе в условиях интенсивного газовыделения в ЭВП и при повторной установке насоса.

С целью устранения этих недостатков была разработана серия миниатюрных магнитных электроразрядных насосов с разной скоростью откачки (0,5; 1,0; 2,0 л/с). Насосы представляют собой одиночную разрядную ячейку, сочетающую в себе принцип рабoты и достоинства диодного и магнетронного насосов.

Исследования показали, что оптимальной величиной индукции магнитного поля новых МЭН является его удвоенное значение относительно диодного насоса аналогичной конструкции анода. Наиболее существенные преимущества насоса показаны в таблице. Насосы полумагнетронного типа используются как в качестве технологических, так и встроенных в ЭВП. Они сохраняют свою работоспособность после воздействия ускорений до 5g, частотой от 0 до 1000 Гц.

Насосы не имеют в своем составе драгоценных металлов, могут легко присоединяться с помощью сварки по любому из двух предлагаемых патрубков - в виде тарелочки или цилиндра. В конструкции полумагнетронных насосов предусмотрена возможность управления скоростью откачки аргона.

Таблица Основные технические данные и характеристики МЭН

Виды насосов Диодные Полумагнетронные
N
п/п
Параметр сравнения N1 N2 N3 N4 N5 N6 N7
1 Объем корпуса V(см3) 5,97 14,8 30,9 95,1 11,67 23,31 43,07
2 Скорость откачки S (л/с) 0,1 0,2 0,5 2,0 0,4 1,0 2,0
3 S/V(xl02) 1,7 1,3 1,6 2,0 3,4 4,3 4,6
4 Длина изолятора L (мм) 9 9 19 9 18 18 18
5 Эффективная длина изолятора Li (мм) 9 9 19 9 35 35 35
6 L/Li 1 1 1 1 0,514 0,514 0,514
7 Длина вывода анода L2 (мм) 17 17 15 46 42 42 42
8 L/L2 0,53 0,53 1,25 1,96 0,83 0,83 0,83
9 Минимальное давление надежного старта (104 Па) 1 1 1 1 0,05 0,05 0,05
10 Количество типов деталей (шт.)
20 22 19 20 16 16 16
11 Возможность вариации скорости откачки инертных газов . . . . + + +
12 Максимальное напряжение без пробоя изолятора (кВ) 4 4 8 8 20 20 20
13 Объем распыляемого титана в центре катода (мм3) 1,8 1,8 9,8 17,1 10,6 39,3 94
14 Количество разрядных ячеек (шт.) 1 4 2 9 1 1 1
15 Экранировка от напыления с катодов . . . . + + +

Предыдущая.......... На главную страницу.............Следующая